Физические и технические основы микро- и наноэлектроники

Методические указания по практическим занятиям и самостоятельной работе студентов направления подготовки "Электротехника и наноэлектроника", по профилю "Твердотельная электроника", "Информатика и вычислительная техника" по профилю «Автоматизация проектирования микро- и наноэлектронных устройств для радиотехнических